반도체 중고장비 플랫폼 회사 서플러스글로벌은 경기도 용인 본사 'R&D 파운드리' 클린룸에서 300㎜ 테스트 웨이퍼를 첫 출하했다고 20일 밝혔다.

R&D 파운드리는 반도체 소재·부품 업체들이 제품을 개발하는 과정에서 자사 샘플이 실제 양산 라인에 잘 적용될 수 있는지를 평가하는 시설이다. 그동안 중소·중견 규모 소재·부품 업체들은 샘플 테스트 설비를 갖추기 위해 대규모 설비를 투자해야만 했다. R&D 파운드리를 활용하면 직접 장비를 구매하지 않고 빌려 쓸 수 있어 경제적이다.

최준영 서플러스글로벌 R&D 파운드리 담당 상무는 “지난 2년간 사업을 준비해서 서플러스글로벌이 생산한 첫번째 300mm 웨이퍼가 출하되었다”며 “금번 생산된 300mm PE TEOS(Plasma Enhanced-Tetra Ethylene Ortho Silicate) 웨이퍼는 CMP 소재, 장비 성능 평가를 위한 테스트 웨이퍼로 반도체 양산공정에 활용된 장비로 생산하고 계측하여 생산성과 품질을 확보하는데 강점이 있다"고 말했다. 

서플러스글로벌 R&D 파운드리는 634㎡ 크기로 구축됐다. 이달 가동을 시작했다. 

김정웅서플러스글로벌 대표는 "반도체 중고장비를 활용하여 다양한 테스트 웨이퍼를 생산하고, 전기적 분석을 통한 장비·소재의 성능평가로 세계 반도체 R&D 생태계에 꼭 필요한 회사가 되겠다”고 말했다.  

작년 7월 완공된 서플러스글로벌의 반도체 장비 클러스터에는 세계적인 반도체 기업들이 입주할 예정이다. 이들 기업들과 협력을 통해 국내 반도체 관련 기업들에게 연구개발, 교육훈련 등의 다양한 솔루션을 제공할 계획이다.