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아이씨디, 1분기 캐논도키용 챔버 공급으로만 매출 250억원 돌파연간으로는 1000억원 넘을 듯

[키뉴스 안석현 기자] 유기발광다이오드(OLED)용 건식식각장비(드라이 에처) 전문업체 아이씨디가 지난분기 증착장비용 챔버 부문에서만 250억원이 넘는 매출을 기록했다. 고객사이자 OLED 증착 장비 시장을 독점 중인 일본 캐논도키가 올들어 생산능력을 크게 확대했기 때문이다.

업계서는 올해 아이씨디가 증착장비용 챔버로만 1000억원이 넘는 매출을 기록할 것으로 전망한다.

아이씨디가 생산한 드라이에처. 사진은 OLED용이 아닌 LCD용이다. (사진=아이씨디)

19일 아이씨디 1분기 보고서에 따르면 이 회사는 지난분기 OLED 증착장비용 챔버를 공급해 250억3000만원의 매출을 올린 것으로 나타났다. 1분기 전체 매출 1174억4000만원의 21%에 해당한다.

지난해에는 이 부문에서 연간 730억원의 매출을 기록했는데, 올해는 1000억원을 거뜬히 넘길 것으로 예상된다.

이 회사가 생산하는 증착장비용 챔버는 OLED 증착 장비 내에서 일종의 물류반송 시스템 역할을 한다. OLED용 기판은 증착 과정에서 여러 실(室)을 오가며 유기물과 금속층을 입힌다. 아이씨디의 챔버는 그 가운데서 기판이 다녀가는 통로 역할을 수행한다.

아이씨디가 챔버를 만들어 일본 캐논도키에 공급하면, 캐논도키는 유기실과 금속실을 이어 붙여 삼성디스플레이에 최종 공급하는 구조다. 따라서 캐논도키가 삼성디스플레이에 공급하는 증착장비 양이 늘어날수록 아이씨디 매출도 비례해 증가한다. 캐논도키는 챔버 외주 협력사로 일본에 한 개 업체와 우리나라에 아이씨디 한 곳, 총 2개 회사만을 운용하고 있다.

지난해까지 캐논도키의 OLED용 증착장비 생산능력은 연간 4대(6세대 월 6만장 대응) 정도였으나, 올해는 2배 수준으로 증설했다. 이에 따라 아이씨디가 올해 캐논도키 향(向) 증착 챔버 매출로 벌어들일 매출도 1000억원은 넘길 전망이다.

아이씨디 본사 전경.(사진=아이씨디)

본 사업인 건식식각장비 사업 역시 순항 중이다. 건식식각장비는 삼성디스플레이에 직접 공급하고 있는데, 삼성디스플레이가 사용하는 건식식각장비의 90% 이상을 아이씨디가 공급하는 것으로 추정된다.

삼성디스플레이는 LCD 라인에 일본 도쿄일렉트론(TEL)의 건식식각장비를 주로 사용해왔으나 OLED 라인에는 아이씨디 제품을 대부분 채택했다. 이는 아이씨가 유도결합형 플라즈마(ICP) 모드의 건식식각장비 기술에 특화됐기 때문이다.

ICP 모드의 건식식각장비는 기존 용량성결합플라즈마(ECCP) 모드 대비 대면적 대응은 불리하지만, 전자밀도가 높아 성능에서는 앞선다. OLED 생산에는 건식식각장비가 총 6개 형태로 쓰이는데 아이씨디 장비는 6개 공정 모두에 대응 가능하다.

최근 디스플레이 업계서 사용하는 건식식각장비는 대면적 LCD⋅OLED는 ECCP 모드, 스마트폰용 중소형 OLED는 ICP 모드로 양분되는 추세다.

업계 관계자는 “삼성디스플레이 탕정 A3 라인 일부에 원익IPS의 건식식각장비가 들어가기도 했다”며 “그러나 난이도가 높은 공정에는 아직 아이씨디의 비중이 압도적으로 높다”고 말했다.

안석현 기자  ahngija@kinews.net

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#아이씨디#캐논도키#OLED

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