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메모리 반도체 제조 위한 핵심 재료 중국에서 생산인테그리스, 中 업체와 손잡고 대륙서 3D 낸드 핵심 재료 생산키로

메모리 반도체 생산을 위한 핵심 재료가 중국에서 생산된다. 메모리 반도체 생산 역량을 강화하려는 중국의 재료 여건이 보다 개선될 것으로 보인다.

글로벌 특수 재료 기업인 인테그리스(ENTEGRIS)는 중국 후베이성에 소재한 특수 화학품 제조 업체 후베이 징싱사이언스앤테크놀러지(晶星科技股份有限公司, 이하 징싱)와 협약을 맺고 공동으로 인테그리스의 고순도 증착 제품을 생산하기로 했다. 여기서 생산되는 고순도 증착 제품은 TEOS를 포함하며, 반도체 제조 영역의 3D 낸드 기술에서 매우 핵심적인 요소다. 이 기술은 생산속도가 더 높은 첨단 저장 장비와 메모리에 적용된다.

인테그리스의 특수 화학품과 공정 재료 부문 관계자는 “후베이 징싱과 협력은 인테그리스가 중국에서 더 생산력을 확장할 수 있는 우위를 가질 수 있게 했다”며 “동시에 중국 시장의 증착 재료 사슬 역시 단순화시켰다”고 설명했다.

인테그리스는 중국에서 대량 TEOS 생산을 실현은 첫번째 글로벌 기업이라는 데 큰 자부심을 느낀다고도 덧붙였다. 인테그리스 울트라퍼(UltraPur)는 3D 낸드 기술의 핵심 재료로 중국 반도체 산업의 발전에 중요한 의의를 지닌다고 부연했다.

징싱 관계자는 “인테그리스와의 협력은 자사의 고순도 재료 생산 능력과 수준을 높이는 데 도움을 준다”며 “곧 인테그리스의 프로세스와 매칭되는 생산 공정을 적용할 계획이며 품질 제어 시스템을 통해 제품의 단일성을 보장할 것”이라고 말했다.

유효정 연구원  i_yoo@naver.com

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#3D 낸드#메모리 반도체#중국#인테그리스

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