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BOE, 몐양 B11용 OLED 장비 발주 시작...AP시스템 ELA 수주B7에 이은 두 번째 6세대 OLED 공장

[키뉴스 안석현 기자] 중국 BOE가 청두 B7에 이은 두 번째 6세대(1500mm X 1850mm) 유기발광다이오드(OLED) 공장인 몐양 B11 설비 발주에 들어갔다. B7과 동일하게 원판 투입 기준 월 4만5000장 규모로 투자할 예정으로, AP시스템(ELA) 등 일부 업체들이 수주 성과도 올리고 있다.

BOE의 디스플레이 생산라인. (사진=BOE)

25일 업계에 따르면 AP시스템은 최근 BOE B11 첫 번째 생산라인에 들어갈 레이저결정화(ELA) 장비 3세트를 수주했다. ELA는 OLED용 저온폴리실리콘(LTPS) 기판을 만드는 데 핵심적인 장비다. 전자이동도가 낮은 비정질실리콘(a-Si) 기판에 ELA로 엑시머레이저를 조사하면 LTPS로 바뀐다.

LTPS는 전자이동도가 a-Si 대비 100배 이상 빠른데, 전자이동도가 빠른 기판일수록 고화질 디스플레이 구현에 유리하다. LTPS 기판은 고화질 LCD와 OLED에 동일하게 사용된다.

앞서 BOE는 지난해 2월과 올해 1월 두 번에 걸쳐 B7용 ELA 입찰을 진행했다. 첫 1만5000장 분은 일본의 재팬스틸웍스(JSW)가, 두 번째 1만5000장 규모 장비는 AP시스템이 각각 수주했다. 이번 B11 수주전에서 AP시스템이 승리함으로써 누적 수주량에서 AP시스템이 JSW에 앞서게 됐다. AP시스템은 지난해 BOE로부터 레이저탈착(LLO) 장비 역시 수주한 바 있다.

ELA 공정 과정. (자료=LG디스플레이 블로그)

BOE는 현재 B11 라인에 들어갈 장비로 ELA 외에 이온주입기도 발주했다. 이온주입기는 일본 니신이온이 수주했다. 이온주입기는 박막트랜지스터(TFT)의 소자 특성을 개선하기 위해 가스 형태의 불순물을 주입해주는 장비다. BOE 외에 국내외 패널 업체 대부분이 OLED 라인에 니신이온 장비를 채택한다.

지난 4일에는 TFT와 터치스크린용 노광장비 발주가 나왔다. 아직 수주 업체가 결정되지 않은 가운데, 여타 장비들에 대해서도 곧 발주가 나올 것으로 전해졌다.

BOE는 3~4분기 사이에 B7의 마지막 1만5000장 분에 대한 장비 발주를 내는 한편, 차이나스타옵토일렉트로닉스(CSOT) 역시 T4 라인 발주를 앞두고 있다.

한 장비 업체 관계자는 “삼성디스플레이의 A4(가칭) 신공장 발주가 나오기 전까지는 BOE B11과 CSOT T4가 실질적으로 장비 시장을 이끌어 나갈 것으로 보인다”고 설명했다.

안석현 기자  ahngija@kinews.net

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#BOE#OLED#중국#B11#6세대 OLED

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