넥스틴, 매그나칩에 패턴 결함 검사 장비 공급
넥스틴, 매그나칩에 패턴 결함 검사 장비 공급
  • 오은지 기자
  • 승인 2018.09.20 17:33
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일본 장비 일색인 패턴 결함 검사 분야서 국산화 쾌거

기술 난이도가 높아 국내 업체 진입이 어려울 것으로 예상했던 반도체 전공정용 패턴 결함 검사 장비 분야에서 국내 기업 넥스틴이 잇달아 소자 업체에 장비를 공급, 빠른 속도로 국산화를 하고 있다.

넥스틴(대표 박태훈)은 매그나칩반도체로부터 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 ‘AEGIS 시스템’ 성능 인증을 받아 공급에 성공했다고 20일 밝혔다.

패턴 결함 검사 장비는 웨이퍼 위에 그려진 회로가 끊기거나 다른 회로를 침범하는 등 불량이 있는지 검사한다.

넥스틴이 매그나칩에 공급하는 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 'AEGIS'. /넥스틴
넥스틴이 매그나칩에 공급하는 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 'AEGIS'. /넥스틴

파운드리 공장에서는 수백 종류의 반도체가 동시에 생산되기 때문에 검사 장비는 패턴 결함 검출력이 뛰어나면서도 빨리 검사 조건을 최적화할 수 있어야 한다. 넥스틴 AEGIS 시스템은 경쟁사 제품과 성능 비교 시험 때 패턴 결함 검출력과 검사 조건 최적화 두 항목 모두 월등히 앞선 평가를 받았다.

넥스틴은 지난 2014년 첨단 반도체 기술 연구를 선도하는 독일 프라운호퍼(Fraunhofer) IPMS 연구소와 공동연구를 진행, 로직 소자 제조 공정에서 성능 인증을 받은 바 있다. 2016년에는 산업통상자원부가 진행한 ‘반도체 장비 재료 성능 평가 사업’을 통해 국내 메모리 반도체 업체의 인증도 통과, AEGIS 시스템을 양산라인에 공급했다.

박태훈 대표는 “AEGIS 장비는 메모리, 로직, 파운드리 등 모든 종류의 반도체 소자 제조 공정에서 성능 인증을 받았다”며 “해외 반도체 업체들로부터 주문이 들어와 조만간 본격적인 수출 증대가 이뤄질 것”이라고 말했다.

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