램리서치, “자사 식각 장비 사용 반도체 업체, 1년간 생산 중단 없어”
램리서치, “자사 식각 장비 사용 반도체 업체, 1년간 생산 중단 없어”
  • 양대규 기자
  • 승인 2019.04.29 16:36
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램리서치의 'Corvus R' 시스템으로 세정효과↑

[키뉴스 양대규 기자] 반도체 공정 환경에서 세정을 위한 가동 중단 시간은 식각 시스템의 생산성을 제한하는 가장 주요한 요소이다. 식각 공정 모듈은 안정적인 성능을 유지하고 플라즈마 공정 과정에서 부식된 부품을 교체하기 위해 일반적으로 월 혹은 주 단위로 세정된다.

반도체 장비업체 램리서치는 자사의 식각 공정 플랫폼으로 협력을 맺은 반도체 제조사가 1년 간 생산 중단 없이 장비를 가동한 것으로 확인됐다고 29일 밝혔다. 1년 전 램리서치는 고객사와 함께 유지보수를 위한 세정 작업을 실시할 필요 없이 365일 동안 가동한다는 표를 세웠고, 2019년 4월 그 목표를 달성했다는 것이다.

램리서치의 부사장이자 식각 제품군 사업부장 바히드 바헤디(Vahid Vahedi)는 “이 결과는 램리서치가 고객사들과 협업해 가장 어려운 기술과 생산성 문제를 해결하기 위해 전념하고 있다는 사실을 보여주고 있다”며, “램리서치는 반도체 제조사들이 더 빠르고, 정확하고, 쉽게 생산성을 높일 수 있도록 4차 산업혁명 기술을 구현하는 데 전념하고 있다. 이번 사례를 통해 입증되었듯이 자가 유지보수 장비를 통해 인적 개입을 줄이면서 효율을 높일 수 있다”고 말했다.

식각 공정 모듈은 주기적인 유지보수와 소모품 교체가 필요하다. 따라서 챔버를 열어, 부품을 교체, 세정한 이후 챔버의 적격성을 다시 평가해야 하기 때문에 많은 시간과 인력이 소모된다. 이는 공정의 처리량에 영향을 주기 때문에 복잡한 일정 조정이 수반된다. 자가 유지보수 솔루션을 사용하면 장비가 부품 교체 시점을 인식하여 챔버를 열지 않고 자동으로 부품을 교체한다. 따라서 장비 가동 정지 시간이 줄어 전체 설비 생산성이 향상된다.

이 솔루션에는 램리서치의 Kiyo 프로세스 모듈, 진공 트랜스퍼가 장착된 Corvus R 교체식 엣지링, 수명이 긴 챔버 구성품, 최적화된 웨이퍼리스 자동 세정 기술이 포함되어 있다. 램리서치는 자동 소모품 교체 시스템인 자사의 Corvus R 시스템은 이번 목표를 달성하는 데 있어 주된 역할을 했다고 설명했다.

(사진=램리서치)
(사진=램리서치)

식각 공정에서는 챔버를 자주 열어 부품을 교체해야 하기 때문에 엣지링 부식은 오래 전부터 해결해야 할 중요한 과제였으나, Corvus R은 사용한 엣지링을 새 엣지링으로 자동으로 교체하기 때문에 챔버를 열 필요가 없다.

기술은 램리서치의 장비 인텔리전스 솔루션의 일부분으로 자가 인식, 자가 유지보수 및 적응식 장비와 공정의 핵심 요소를 통합하여 구현했다. 램리서치는 이 솔루션을 사용하면 머신 러닝, 인공 지능 프로그램, 자동화된 자가 인식 하드웨어 및 공정의 통합을 통한 생산성, 성능, 혁신성 향상 효과를 얻을 수 있다고 밝혔다.

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