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반도체 증착 장비 속 진단 기능, 센서가 다 한다
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반도체 증착 장비 속 진단 기능, 센서가 다 한다
  • 김주연 기자
  • 승인 2020.01.05 00:00
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사이버옵틱스가 ‘세미콘코리아’에서 반도체 장비 제조사와 진단을 위한 ‘웨이퍼센스(WaferSense) 오토 레지스턴스 센서(ARS)’와 ‘사이버스펙트럼(CyberSpectrum)’ 소프트웨어를 전시한다./사이버옵틱스

사이버옵틱스는 다음달 5~7일 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘코리아(SEMICON Korea)’에서 반도체 장비 제조사와 진단을 위한 ‘웨이퍼센스(WaferSense) 오토 레지스턴스 센서(ARS)’와 ‘사이버스펙트럼(CyberSpectrum)’ 소프트웨어를 전시한다고 22일 밝혔다.

사이버옵틱스는 고정밀 3D 감지 기술 솔루션을 개발, 제조하는 업체다.

ARS는 ‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어와 함께 제공된다. ARS는 300㎜ 웨이퍼용 반도체 전기화학증착(ED) 장비에서 도금 셀 접촉의 저항을 무선으로 실시간 측정할 수 있게 해준다. 도금 핀에 영향을 미치는 잔류물을 감지하는 켈빈 센싱(Kelvin Sensing) 기법을 활용, 50개의 주변 개별패드로 저항 측정을 신속하게 식별하고 모니터링한다. 

반도체 팹의 프로세스 및 장비 엔지니어는 일정 시간 후 측정된 평균 저항을 정량 분석해 장비 보수가 필요한 시기를 예측하고 장비 유지보수 주기를 단축하며, 웨이퍼와 같은 4선 저항 센서 및 ‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어의 객관적이고 반복 가능한 데이터로 셀 간 균일성을 향상시킬 수 있다.

사이버옵틱스는 ‘웨이퍼 센스 오토 바이브레이션 레벨링 센서(AVLS3)’도 함께 전시할 예정이다. 두께가 3.5㎜에 불과하지만, 웨이퍼가 배송되는 대부분의 팹 위치로 쉽게 운송할 수 있다. 화학적 강화 유리(CHG) 기판은 웨이퍼를 쉽게 다룰 수 있도록 해주며 진공 처킹(vacuum chucking)을 개선해준다. AVLS3과 사이버스펙트럼 소프트웨어는 진동과 조절 데이터를 동시에 수집, 보여줘 신속한 장비 세트업과 실시간 장비 진단을 지원한다.

수보드 쿨카니(Subodh Kulkarni) 사이버옵틱스 사장 겸 최고경영자(CEO)는 “우리는 전 세계 반도체 팹과 장비 주문자상표부착생산(OEM) 업체에서 사용되는 독자적인 웨이퍼센스 장비 라인을 확대해 수율과 장비 가동 시간을 크게 개선했다”며 “새로 출시한 ARS는 무선으로 반도체 팹 내 전기화학 증착 애플리케이션에 대한 실시간 저항 측정을 감지, 모니터링할 수 있다”고 설명했다.


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