심우영 연세대 교수(신소재공학과). /사진=LG디스플레이
심우영 연세대 교수(신소재공학과). /사진=LG디스플레이

LG디스플레이는 ‘LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램' 지원 연구과제가 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈(Nature Communications) 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다.

심우영 연세대 교수(신소재공학과) 연구팀에서 수행한 이번 연구는 유연하고 투명한 타입의 포토마스크로 기존 포토마스크로는 불가능했던 초미세 패턴을 구현하는 게 골자다. 해당 기술은 LCD, 유기발광다이오드(OLED) 등 다양한 종류의 디스플레이에 적용 가능하다.

연구팀은 딱딱한 형태인 포토마스크의 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발했다. 종전 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 1/100 수준에 해당하는 초미세 패턴을 구현할 수 있다. 

유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해, 다양한 형태의 디스플레이 생산에 기여할 가능성이 기대된다고 LG디스플레이는 설명했다.

논문 공동 저자인 LG 디스플레이 장기석 박사는 "이번에 개발된 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드(Seeds, 종자) 기술"이라고 말했다.

LG디스플레이는 지난 2015년부터 디스플레이 산업의 발전을 위한 산학 프로그램인 LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램을 운영해오고 있다. 기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술 및 제품들에 대한 아이디어를 모으고 산업화 관점에서 실현될 수 있도록 기획하고 연구⋅검증하는 프로그램이다.

심우영 교수는 “이 연구는 빛의 회절한계를 극복할 수 있는 포토리소그래피 공정을 개발했다는 점에 의의가 있으며, 평면뿐만 아니라 곡면 기판에도 적용이 가능해 향후 다양한 형태의 소자 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대된다”고 설명했다.

 

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